Поверка газоанализатора TP-70D в Перми
Стационарные одноканальные газоанализаторы RIKEN-KEIKI-GD-70D предназначены для определения утечек газа при производстве полупроводниковой промышленности. Данные газоанализаторы являются приборами обеспечения безопасности и не являются анализаторами, осуществляющим количественный и качественный анализ газов. Поверка газоанализатора TP-70D проходит в аккредитованной лаборатории РЦСМ и занимает от 1 до 5 дней.
Особенности и поверка газоанализатора TP-70D
- Единая платформа (основной блок/датчик/насос) для всех типов датчиков.
- Интеллектуальные датчики.
- Большой ЖК-экран со шкалой.
- Интерфейсы 4-20 мА, NT, PoE — на выбор.
- Встроенный веб-сервер для удаленного мониторинга.
- Функция самодиагностики.
- Простота установки и обслуживания.
- Широкий перечень измеряемых газов.
Поверка осуществляется по документу МП-082/02-2019 «Газоанализаторы серии TP-70D. Методика поверки», утвержденному ООО «ПРОММАШ ТЕСТ» 26 февраля 2019 г.
Основные средства поверки:
- генераторы газовых смесей ГГС мод. ГГС-Р, ГГС-Т, ГГС-К, ГГС-03-03 (рег. № 62151-15);
- стандартные образцы – поверочные газовые смеси (ГСО-ПГС): ГСО 10532-2014 (О2 – азот), ГСО 10563-2015 (CH4 – азот), ГСО 10704-2015 (СО – воздух), ГСО 10549-2014 (C4F6 – воздух), ГСО 10703-2015 (H2 – воздух), ГСО 10546-2014 (AsH3 – азот, PH3 – азот, SiH4 – азот, F2 азот), ГСО 10547-2014 (NH3 – азот, HCN – азот), ГСО 10538-2014 (H2S – азот), ГСО 10524-
2014 (C3H7OH – азот), ГСО 10533-2014 (CH3OH – азот), ГСО 10597-2015 (C2H2 – азот), ГСО
10548-2014 (C5F8 – азот, С2Н2F4 – азот, С2Н2F2 – азот); - установки динамические Микрогаз-ФМ – рабочие эталоны 1-го разряда (рег. № 68284-
17) в комплекте с источниками микропотоков ИМ108-М-Е на HCl, ИМ09-М-А2 на Cl2, ИМ ГП129-О-А2 на CH2O2, ИМ-ГП-105-М-Б на CH3COOH, ИМ05–М–А2 на SO2,
ИМ01-0-Г1 и ИМ01-0-Г2 на NO2, ИМ159-М-А2 на Br2 (рег. № 15075-09); - генераторы хлора ГРАНТ-ГХС (рег. № 40210-08);
- генераторы озона ГС 7601 (рег. № 13298-92).
Допускается применения аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке и (или) в паспорт.